上银直线电机

上银直线电机源自于劳伦兹法则(Lorentz)，即利用电流(I)与磁场(B)的相互作用而产生推力(F)， 加上本身磁铁排列与多动子的运用，可实现行程不受限制与单轴多动子的独立运动，藉由搭配精密伺服反馈可轻易实现奈米定位精度的控制。